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发布时间：2024-03-25 浏览次数：95
金刚石是具有较宽带隙的半导体，除部分近红外，金刚石晶体具有从x射线到微波整个波段高的透过率，兼备高硬度高导热率、高化学稳走性和低膨胀系数，是一种优异的光学材料和电子器件。
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电子级单晶金刚石参数表 |
电子性能 |
数据 |
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折射率(590nm) |
2.4 |
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电子迁移率(cm2/v.s) |
4500 |
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空六迁移率(m2n s) |
3800 |
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含量(epr测得) |
<5ppb |
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硼含量 |
<1ppb |
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电子性能 |
数据 |
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电阻率(2.cm) |
>100 |
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介电常数 |
5.5 |
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介电损耗 |
<2x104 |
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热学性能 |
数据 |
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热导率(300kwm:k) |
1000~2200 |
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栌膨胀系数(x10-rc) |
1(室温) |
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机械性能 |
数据 |
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断裂强度 |
2.5~3gpa |
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断裂韧性(pam’) |
1~8 |
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杨氏模量 |
1050gpa |
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硬度 |
70~120 gpa |
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摩擦系数 |
0.1 |
检 测
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品名规格 |
实验室培育金刚石 |
尺寸规格 |
10mm*10mm*0.4m |
备注 |
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工艺方法 |
mpcvd |
外观标准 |
清晰无杂质 |
判定ok/ng |
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序号 |
项目 |
检测工具/结果 |
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1 |
长*宽 |
卡尺 |
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ok |
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2 |
横向公差 |
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0.2/-0mm |
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3 |
厚度尺寸 |
卡尺 |
>0.3mm |
ok |
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4 |
厚度尺寸 |
|
0.01/-0.02mm |
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5 |
表面切痕 |
目测 |
无 |
ok |
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6 |
nv值检测 |
拉曼光谱仪 |
2, 2 |
ok |
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7 |
多晶检测 |
60倍被光镜 |
无 |
ok |
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8 |
透光性 |
强光手电 |
能穿透 |
ok |
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9 |
重量 |
电子秤 |
0.10g |
ok |
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10 |
掺杂量 |
n、b |
无 |
n/a |
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11 |
晶体学 |
通常100%单扇区(100) |
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ok |
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12 |
横向尺寸测量 |
向较小的一侧 |
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ok |
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13 |
边缘、边缘 |
激光切割，边缘 |
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ok |
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14 |
面朝向 |
(100)大面朝向 |
|
ok |
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15 |
边缘激光切0 |
3° |
|
ok |
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16 |
第12面粗抛光糙度，ra |
抛光，ra<30nm |
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ok |